Preis Plasmaparameter präzise bestimmen
Mit diesem Verfahren lassen sich die Eigenschaften von Plasmen noch genauer messen. Das ist wichtig für die Herstellung von Halbleitern.
Der Masao-Horiba-Preis wird seit 15 Jahren an Wissenschaftler und technische Experten vergeben, um weltweit führende Ideen und Innovationen zu diagnostischen Verfahren auszuzeichnen. Traditionell prämiert der Award japanische Forscher, es gibt jedoch eine Ehrenkategorie für internationale Wissenschaftler. Sie ist mit 5.000 Euro dotiert und geht dieses Mal an einen Forscher aus Bochum.
Dr. Tsanko Tsankov vom Lehrstuhl für Plasma- und Atomphysik der RUB wird damit besonders ausgezeichnet. Er hat eine Methode entwickelt, mit der sich die Eigenschaften eines Plasmas bestimmen lassen, ohne in das Plasma selbst einzugreifen.
Ionen sammeln und Energie messen
Der Clou seines Verfahrens: Es sammelt die Ionen, die schweren, geladenen Teilchen, die stetig aus dem Plasma herausbeschleunigt werden. Aus einer einfachen Messung ihrer Energie lassen sich Parameter ableiten, um das Plasmainnere zu charakterisieren – zum Beispiel das elektrische Feld oder die Temperatur der leichten Elektronen. Andere bestimmbare Eigenschaften, beispielsweise der Fluss der Ionen und deren mittlere Energie, wirken sich auf die Effizienz und die Qualität der sogenannten Beschichtungs- und Zerstäubungsphasen aus – das sind entscheidende Bestandteile des Herstellungsprozesses von Halbleitern.
Die meisten der bisher angewandten Messmethoden brauchen einen Zugang zum Inneren des Plasmas, was häufig das Plasma und laufende Herstellungsprozesse stört.
Alle Sieger haben Bezug zur RUB
Die drei japanischen Gewinner des Awards 2018 haben allesamt einen Bezug zur RUB:
- Dr. Keiichiro Urabe von der Universität Kyoto hat im Juli an den RUB Japan Science Days teilgenommen und war einer von insgesamt 40 hochrangigen Gästen japanischer Top-Universitäten an der RUB.
- Dr. Takayoshi Tsutsumi von der Universität Nagoya war im Jahr 2012 als Austauschstudent an der RUB.
- Dr. Shota Nunomura vom National Institute of Advanced Industrial Science and Technology war im Jahr 2017 als Gastwissenschaftler in Bochum. Er zählt zu den langjährigen und guten Kooperationspartnern von Prof. Dr. Uwe Czarnetzki, Inhaber des Lehrstuhls für Plasma- und Atomphysik.
Czarnetzki ist bestens mit japanischen Forschern vernetzt und zählt zu den Wissenschaftlern der RUB, die die Kooperation mit Japan maßgeblich prägen. Für seine wissenschaftlichen Verdienste hat er bereits mehrere Auszeichnungen erhalten.
