UA Ruhr Präzise und hoch entwickelte Chips
Vielseitige Mikrochips entstehen in einem Forschungsprojekt der Universitätsallianz Ruhr. Dafür wurde jetzt eine neue Plasmaanlage von Bochum nach Duisburg gebracht.
Sie sind wahre Alleskönner: Die sogenannten Photonisch Integrierten Chips (PIC) bringen die Kommunikationstechnik ebenso voran wie die Radar-, Sensor- und Messtechnik. Und auch bei den bildgebenden Verfahren in der Medizin sind sie gefragt. Selbstredend, dass sich die Forschung für sie interessiert.
Zwei Hochschulen der Universitätsallianz Ruhr – die Universität Duisburg-Essen und die RUB – bündeln hier ihre Expertise. Sie stellen künftig mit einer neuen Anlage Silizium-Photonik-Chips her. Die Kosten für den Transfer der rund 300.000 Euro teuren RUB-Anlage nach Duisburg haben sie gemeinsam gestemmt. Von der Deutschen Forschungsgemeinschaft wurde die Anschaffung des Großgeräts gefördert.
Funktionsfähige Prototypen
Die neue Plasmaanlage steht nun im Reinraum des Duisburger Zentrums für Halbleitertechnologie und Optoelektronik. Da sie mit bis zu sieben verschiedenen Gasen betrieben werden kann, lassen sich damit unterschiedliche Materialien bearbeiten – zum Beispiel Siliziumoxid und Siliziumnitrid, Galliumarsenid und Indiumphosphid. Die Anlage wird hauptsächlich zu Forschungszwecken genutzt, aber auch für vorkommerzielle Produkte, das heißt für funktionsfähige Prototypen.
„Wir konzentrieren unsere technologischen Ressourcen in den Materialwissenschaften und stärken damit den Wissenschaftsraum Ruhr“, sagen die Photonik-Forscher Prof. Dr. Andreas Stöhr vom Duisburger Zentrum für Halbleitertechnologie und Optoelektronik und Prof. Dr. Martin Hofmann vom Bochumer Lehrstuhl für Photonik und Terahertztechnologie.
Bruchteil der bisherigen Kosten
Die hoch entwickelten Produkte können kleine und mittlere Unternehmen später zu einem Bruchteil der bisherigen Kosten einsetzen. Denn die Wissenschaftler geben ihr Know-how weiter, was die Herstellungskosten senkt und neue Anwendungsfelder für PIC erschließt – etwa für hochauflösende miniaturisierte Radarsysteme oder zur spektroskopischen Identifizierung von Materialien.
