Elektrotechnik und Informationstechnik Thomas Mussenbrock ist Experte für Niedertemperaturplasmen
Immerhin basieren mehr als 70 Prozent aller Schritte bei der Fabrikation von mikroelektronischen Bauelementen und Schaltungen auf diesen Plasmen.
Seit dem 1. November 2020 hat Prof. Dr. Thomas Mussenbrock die Professur für Plasmatechnik an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik inne. Er forscht zu Niedertemperaturplasmen sowie zu nanoelektronischen und nanoionischen Bauelementen. Sein Team entwickelt analytische und numerische Methoden für die Modellierung und Simulation und wendet diese im Zusammenspiel mit Experimenten an.
„An der Ruhr-Uni finde ich dafür die idealen Gegebenheiten“, erklärt Thomas Mussenbrock. „Hier laufen diese Experimente gleich nebenan. Ich kann sie live verfolgen und Rückschlüsse für unsere Simulationen ziehen, die sich dann wiederum positiv auf die nächsten Experimente auswirken.“
Unser Ziel ist, nur ganz bestimmte Teilchen anzuregen.
Thomas Mussenbrock
Konkret geht es häufig darum, effizient und zielgerichtet Energie in ein Plasma hineinzubekommen. „Unser Ziel dabei ist, nur ganz bestimmte Teilchen anzuregen.“ Überhaupt dreht sich bei Thomas Mussenbrock vieles um den Transport von Energie und Materie. „Wir möchten dabei das makroskopische Verhalten der Systeme auf Basis der mikroskopischen Dynamik der beteiligten Atome, Moleküle, Elektronen und Photonen verstehen“, erläutert der Forscher.
Plasmen spielen beispielsweise eine entscheidende Rolle bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente und Schaltungen. „Mehr als 70 Prozent aller Herstellungsschritte sind Plasma-gestützt“, sagt Thomas Mussenbrock. „Nicht umsonst heißt es: Ohne Plasma kein I-Pad.“
An zwei Sonderforschungsbereichen beteiligt
Der Lehrstuhl für Plasmatechnik ist unter anderem beteiligt am Sonderforschungsbereich (SFB)-Transregio SFB-TR 87 „Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten,“ am SFB 1316 „Transiente Atmosphärendruckplasmen – vom Plasma zu Flüssigkeiten zu Festkörpern“ sowie an den Forschergruppen der Deutschen Forschungsgemeinschaft FOR 1123 „Physics of Microplasmas“ und FOR 2093 „Memristive Bauelemente für neuronale Systeme“.
